一、仪器外貌
 
这是非接触式精密测量干涉显微仪器，它集光学、精密机械、电子线路、计算机于一体。
 
应用领域：光电子材料与器件、材料科学表面分析，
              MEMS微器件、LED芯片，光学测量、
              光学加工、精密机械加工，高等学校光
              学技术及物理光学实验等。
主要功能： 测试各种表面粗糙度。
              显示，观察和分析表面精细结构及
              3D形貌。
              测试表面台阶，沟槽，划痕及疵病等
              的深度，宽度, 薄层厚度。
主要组成部分
    1. 基础显微系统
    2. 白光干涉镜头
    3. 压电陶瓷堆PZT垂直扫描机构驱动器及控制器
    4. 摄像机
    5. 专门VC++软件系统，全英文界面
    6. 防震台
7. 计算机，等等。
   仪器结构稳定可靠。多年来的测试实践证明：无论如何拆卸，搬抬，运输，只要装
   上干涉镜头，仪器便可立即开始测试。
原理
    一束普通白光顺次经被测表面和干涉标准具反射，两光束会合后形成白光等厚干涉。
只有上下两条白光光路光程严格相等，构成白光干涉的零光程差主干涉条纹。它是计量
的基准。
    零光程差主条纹黄光，两旁黑色条纹，极易识别。
    这是白光干涉比单色光干涉明显的优点。
功能1
  被测表面反射率从 r=4%到100%大范围内,都能获得完善的真彩色（400nm-800nm）白光干涉图, 干涉图质量不亚于国外同类产品。
  能获得清晰、高对比度的真彩色白光干涉图是本仪器的关键功能。
 
国外同类仪器当表面反射率到约70～80%，由于干涉图质量严重下降就只能停止测试，即有1/3反射率范围的样品被损失掉不能测试。
 
 
  功能2    测试各种表面粗糙度
包括：纯金属光滑表面，光学表面，化合物半导体表面，高分子、聚合物塑料表面，
精密机械表面，等等。
    被测表面粗糙度范围Ra从0.2nm（即2埃，超光滑亚纳米）到200nm均可测试。
粗糙度数据用Ra, RMS, PV20 表示。
  测试了如下主要单位样品粗糙度：

1. 福州 美国Ⅱ-Ⅵ公司                 超光滑（亚纳米）粗糙度测试
2. 江苏普世祥光电公司                 超光滑（亚纳米）粗糙度测试
3. 烁飞光电公司                       蓝宝石粗糙度测试
4. 长春某大学激光实验室               GaAs表面粗糙度测试
5. 重庆某大学光电二极管实验室         硅片阵列表面粗糙度测试
6. 南京某大学半导体实验室             GaN-生长在蓝宝石表面
7. 南京某大学物理系                   GaN-生长在蓝宝石表面，多量子阱LED

                                   芯片测试 

8. 南京某大学电光学院光电材料教研室   多种化合物半导体材料粗糙度测试
9. 扬州联创光电公司                   纯金属锥体360度激光反射器粗糙度测

                                   试

10. 南京北方信息集团                   微通道板，光纤面板粗糙度测试
11. 华东光电子集成研究所               硅片表面粗糙度测试
12. 哈尔滨量具刃具厂                   精密机械样块表面粗糙度测试

         等等。
         经与原子力显微镜作多次对比，其粗糙度测试数据一致。
功能3     微器件测试
    测试了如下单位样品：

1. 南京某大学光传感和光纤实验室

 Ⅲ-Ⅴ族LED芯片,测试所有数据及绘制3D图

2. 南京某大学 重点实验室 

    陀螺装置MEMS微器件测试
①   利用白光干涉零光程差主干涉级的鲜明特征, 测试MEMS微器件的所有
   各部份尺寸, 尤其是各部纵深高度，微小倾角, 尺寸误差，装配误差
   绘制3D图
②    微器件各部尺寸，由于装配及材料应变引起随时间变化的白光干涉监测

3. 南京某大学微系统实验室

  细胞注射微针测试

4. 南京多恩光电技术研究所

  有机玻璃压铸光学微反射器阵列  微反射面阵列表面粗糙度白光干涉测量

5. 南京某大学显示中心    LED芯片 测试所有数据及绘制3D图

 
 
     功能4   本仪器精巧处理恢复表面真彩色的精细结构形貌显示
       显示如下表面：

1.  南京某大学半导体实验室         GaN-生长在蓝宝石表面精细结构

                                GaN-生长硅表面精细结构
       2）南京某大学物理系                GaN-生长在蓝宝石表面精细结构
                                        CdZnO/ZnO多量子阱MQW LED表面精细结构
 
       3) 南京某大学电光学院             GaN-生长在蓝宝石（用于光电阴极）表面精
                                         细结构
       4) 南京某航空航天大学材料学院     Cu膜,铜锌锡硫硒(CZTSSe)膜, 铜锌锡( CZTS)
                                         膜，Ge膜, Sn膜,等  的表面精细结构
                                         尤其对Cu膜作大量相位物体隐藏图像的成
                                         像

2. 南京精密微量喷涂公司           Mobile glass plate 喷涂表面表面精细结构

  功能5  由白光干涉特点           
         1）恢复涂层与基底的过渡区形貌
         2）由白光干涉级移动测试涂层厚度
         3）测试过渡区的上升陡度
 
  功能6   由白光干涉多层垂直扫描 恢复表面三维形貌
•       利用白光宽光谱的极窄的相干范围，压电陶瓷堆PZT精密移动机构作纵向多层（几十层）扫描，由计算机合成表面的三维形貌
•       如下三维形貌
•       1) 光栅 10 lp/mm
•       2) 光栅50 lp/mm
•       3) 磁带凹陷区
•       4) 金属表面标准深度刻线
•       5) 石墨稀表面沟槽
•       6) 硅片表面刻线
•       7) 精密机械导轨磨损点蚀
 
测试功能与显示方式

1. 测试表面粗糙度
2. 显示，观察和解析表面精细结构
3. 测试表面台阶，沟槽，划痕及疵病的深度，宽度，薄层厚度
4. 人眼直接通过显微镜观察真彩色白光干涉图
5. 多干涉级的单张干涉图，3D显示
6. 本仪器精巧处理恢复  真彩色表面  纳米粗糙度精细结构图，3D显示

                    真彩色表面  亚纳米（埃）粗糙度精细结构图，3D显 示

7. 表面单色干涉图观察，表面缺陷深度测试
8. 探测与观察表面隐藏的相位物体
9. 单色通道垂直扫描，重构表面反射波面3D形貌

        10 白光干涉垂直多层扫描，重构表面3D形貌