南京某大学GaN-蓝宝石基  白光干涉图  纳米粗糙度测试
 


如上GaN-蓝宝石基  经本仪器精巧处理恢复纳米粗糙度表面精细结构图
 


如上GaN-蓝宝石基   经本仪器精巧处理恢复纳米粗糙度表面精细结构的3D形貌图
 


南京某大学GaN-Si基   白光干涉图  纳米粗糙度测试
 


如上GaN-Si基  经本仪器精巧处理恢复纳米粗糙度表面精细结构图
 


如上GaN-Si基  经本仪器精巧处理恢复纳米粗糙度表面精细结的3D形貌图
 





直径100毫米硅膜表面白光干涉图。粗糙度检测。


50层纵深扫描硅膜3D形貌图





半导体激光一系列GaAs表面白光干涉图。粗糙度检测。




半导体激光GaAs第No.15粗糙样品表面3D图及横截面SAG图。





光电二极管硅片阵列表面白光干涉图。粗糙度检测。