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陀螺MEMS芯片
MEMS chip of Gyroscope
发布时间:[2017年03月29日] 点击次数:[]
陀螺MEMS芯片 白光干涉图
利用白光干涉主干涉级的鲜明特征， 测试MEMS器件的各部份尺寸及其纵深高度关系
如图所示，主干涉级 黑条纹在MEMS芯片的上排线和下排线有精密错位
MEMS上排线位于主干涉级，下排线干涉级变化
陀螺MEMS芯片，部分结构3D形貌图
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